【上海国际电力元件展览会】韩国进一步推进半导体关键材料本地化生产

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       2019年7月4日，日本正式开始对韩国实行半导体和显示器生产必要材料出口限制，并将其从贸易白名单中剔除。当时，日本指责韩国疏于出口控制，而韩国政府则表示，日本的限制是对韩国最高法院2018年就劳工赔偿案一事最终裁决的报复。而一年之后，韩国受此贸易措施波及的关键产业也开始逐渐摆脱限制带来的负面影响。

       在出口限制中，日本主要停止了用于半导体、智能手机和显示器生产的氟化氢、氟化聚酰亚胺和光阻剂在韩国的销售。

       韩国工业在关键原材料方面一直高度依赖日本。“日本给韩国敲响了警钟。”汉阳大学电子工程教授Park Jea－gun这样说道，“如果日本没有对韩国实施贸易禁令，我们还不会像现在这样着手本地化生产，使原料来源多样化。”

       韩国产业形势的好转是政府和企业共同努力的结果。韩国政府颁布了相关政策以大力支持关键材料的开发，而企业也已成功实现供应来源多样化，并转向在国内自主生产被限制的材料、零部件和设备。

       SK材料公司于今年6月17日宣布，已成功实现氟化氢气体的生产本地化，此前这是一种100％依靠进口的关键材料。该公司表示，已开始量产99．999％高纯度氟化氢气体，并计划到2023年实现该材料70％国产化。

       氟化氢，也称为蚀刻气体，主要被以气体或液体形式用于清洁表面或在半导体上蚀刻图案。在日本贸易限制措施于去年生效后，韩国Soulbrain和RAM科技公司通过建立更多工厂，成功进行了大批量氟化氢液体的生产。

       在显示行业，三星显示和LG显示也已将日本产的氟化氢液全部转为本地化。而在半导体行业，三星电子和海力士半导体也纷纷提高了国产氟化氢液体的比例。此外，各公司也陆续开始与美国等国家合作以促进氟化氢进口来源多样化。

       除氟化氢以外，韩国用于在芯片上形成电路图案的光阻剂也有92％产自日本。目前，韩国已于比利时和德国等国家就相关进口达成合作。国内，诸如东进世美肯（氟化氩重要生产商）等国内企业也将扩大工厂规模。SK材料公司还计划在明年完成其氟化氩工厂的建设，并在2022年开始投入生产。

       用于5纳米以下超精细制造的EUV光刻的光阻剂尚未能实现本地化生产。不过美国杜邦公司已决定在韩国设立光刻胶工厂，且通过其他国外企业，韩国已经能确保该材料的稳定供应。

       此外，氟化聚酰亚胺也是目前面临进口限制的关键材料之一，韩国各方正在推进其生产国产化。这种材料主要用于可弯曲显示器的生产，如可折叠智能手机和可滚动电视。去年，德国科隆工业公司在韩国投建了相关生产设施，开始大规模生产氟化聚酰亚胺。

       韩国政府在确保材料安全和本地化生产方面发挥了重要作用。为推进技术发展，韩国贸易部自2002年起就扶植光阻剂生产，从2010年开始支持氟化聚酰亚胺的生产。

       “政府和企业的努力决不能消失。”半导体用加热器和静电吸盘生产公司MiCo表示，“政府基金应该继续增加，以加大在材料行业的竞争力。”

文章来源：OFweek电子工程网

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