台积电联合首席执行官魏哲家在一场技术论坛上宣布2纳米(N2)制程已取得突破性进展,目前在试产中的良率远超时间表。再次确立了领先优势,2025年下半年的大规模量产很有可能。
半导体的制程是真的有几纳米吗?是不是虚标?
半导体的制程并非完全对应真实的物理尺寸,而更多是一种技术代际的命名方式。
制程命名的演变
在半导体技术发展的早期阶段(90nm及之前),工艺节点确实基本对应于MOSFET器件的关键几何尺寸,特别是最小栅极长度。比如90nm节点的栅极长度约为90nm,65nm节点约为65nm。 然而,随着技术发展到20nm以后,由于器件结构复杂化(高-κ金属栅、应变工程、FinFET等三维结构的引入),不同器件参数间出现显著差异,"单一尺度"不再能够准确描述工艺水平。
现代制程命名的本质
当代的工艺节点更多是一种产业代际标签,其含义主要包括:
相对代际进步:7nm工艺必然优于10nm工艺,在晶体管密度、功耗和性能上体现综合优势
厂商间差异化:不同厂商的同名工艺在晶体管密度、性能功耗指标上存在差异
市场化因素:节点命名具有一定营销属性,用于强调先进性和工艺领先
实际物理尺寸情况
以"7nm工艺"为例,实际栅极长度通常在18-24nm范围内,金属层的最小间距、鳍片宽度、接触孔尺寸等参数均不等于"7nm"。同样,5nm工艺节点对应的晶体管导电沟道实际长度通常达18纳米,3nm对应16纳米等。
来源:广州光亚法兰克福展览有限公司
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